X | Y | Z | θx | θy | θz | |
行程 | ±40mm | ±40mm | ±30mm | ±12° | ±12° | ±24° |
重復(fù)定位精度 | 20μm | 20μm | 20μm | 0.01deg | 0.01deg | 0.01deg |
最大速度 | 6mm/s | 6mm/s | 4mm/s | 1°/s | 1°/s | 2°/s |
載重 | 300N | |||||
驅(qū)動類型 | 步進電機(1.8°) |
聯(lián)系人:陳先生(Mr. Aaron Chen )
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